Penggunaan Pad Poles
2022/05/19
1. Cairan pemoles secara efektif dan merata diangkut ke berbagai area
bantalan pemoles
.
2. Setelah pemolesan, reaksi kimia sepenuhnya dilakukan dan reaktan dan puing-puing dibuang dengan lancar dan efek penghilangan tercapai.
3. Mempertahankan film cair yang dipoles pada permukaan bantalan pemoles agar reaksi kimia sepenuhnya dilakukan.
4. Jaga agar proses pemolesan tetap halus, permukaan tidak berubah bentuk, untuk mendapatkan topografi permukaan wafer yang lebih baik.